vacuum chuck

  • vacuum chuck
  • 释义

    真空夹盘[夹头,吸盘]

纠错 数据更新时间:2025-11-14 16:58:00
1、

A silicon diffusion pressure sensor is used to measure vacuum degree of chuck table to ensure that wafer is firmly chucked during grinding.

真空吸盘真空度的测量使用扩散硅压力传感器,实时测量出真空度的大小,保证硅片在加工过程中可靠夹紧。

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